NICT ナノ機能集積プロジェクト:Abstract

ナノ電解法によるナノ単結晶デバイス作製技術

長谷川 裕之


Abstract:

 次世代の低環境負荷な新しいナノファブリケーションとして、我々はこれまでにナノ電解法を開発した。交流の電気分解によって、2つの電極のギャップ部分のみに位置選択的にナノ単結晶を作製できる。このときナノ単結晶による架橋構造が形成されるため、電気分解時の電極をソース、ドレイン電極とした2端子デバイスが出来上がる。この構造を用いた各種デバイスの特性、並びに固液界面でのナノ単結晶の形成様式について議論する。


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